TDK株式會社（東京證券交易所代碼：6762）推出兩款新的采用符合RoHS要求的鋯鈦酸鉛 (PZT) 材料制成的銅內電極壓電執行器——COM30S5和COM45S5。新款元件采用TDK獲得專利的基於銅電極的HAS（高有效堆疊）技術，以無外殼封裝的被動元件供貨，實現了良好的動態範圍、高力量/體積比和納米級精度。比之其他技術，TDK采用HAS技術的壓電執行器性能更佳，濕度穩定性更好、使用壽命更長。
兩款新元件覆蓋電壓範圍為-10至+180 V，額定位移在+160 V處達到，允許的表面溫度範圍為-40至+160°C，高度分別為30 mm和45 mm，橫截面尺寸為5.2 mm x 5.2 mm，並且在160 V和730 N的預緊力條件下可實現55 µm (COM30S5) 和83 µm (COM45S5) 的位移。
此外，TDK計劃於2023年再推出另外三款執行器，以滿足更廣泛的應用要求。目前，這些執行器僅作為少量原型樣品供應，尚未量產，具體包括高度為10 mm、位移量為16 µm的COM10S5；高度為27 mm、位移量為47 µm的COM27S3（帶引線型）；以及高度為30 mm、橫截面為7 mm x 7 mm、位移量為55 µm、推力高達2600 N的COM30S7。
TDK的壓電執行器口碑好，應用範圍廣，適合包括納米級定位技術、工藝工程中液體和氣體的高精度閥門控制，以及半導體制造等高端解決方案在內的諸多應用。
主要應用
兩款新元件覆蓋電壓範圍為-10至+180 V，額定位移在+160 V處達到，允許的表面溫度範圍為-40至+160°C，高度分別為30 mm和45 mm，橫截面尺寸為5.2 mm x 5.2 mm，並且在160 V和730 N的預緊力條件下可實現55 µm (COM30S5) 和83 µm (COM45S5) 的位移。
此外，TDK計劃於2023年再推出另外三款執行器，以滿足更廣泛的應用要求。目前，這些執行器僅作為少量原型樣品供應，尚未量產，具體包括高度為10 mm、位移量為16 µm的COM10S5；高度為27 mm、位移量為47 µm的COM27S3（帶引線型）；以及高度為30 mm、橫截面為7 mm x 7 mm、位移量為55 µm、推力高達2600 N的COM30S7。
TDK的壓電執行器口碑好，應用範圍廣，適合包括納米級定位技術、工藝工程中液體和氣體的高精度閥門控制，以及半導體制造等高端解決方案在內的諸多應用。
主要應用
- 納米級定位系統
- 液體和氣體的高精度閥門控制
- 焊線機
主要特點和優勢
- 銅內電極，具有優異濕度穩定性和高性價比
- 更小的無效區域，更好的性能，更長的使用壽命和更緊湊的設計
- 采用無鉛高熔點金屬焊接，適合高溫操作
關鍵數據
| 系列/類型 | 訂購代碼（Z代表原型） | 尺寸 [mm] |
位移量 [µm] @+160 V |
推薦預載力 [N] |
推力（典型值） [N] |
| COM30S5 | B58004M4030A020 | 5.2 x 5.2 x 30 | 55 ±10% | 730 | 1400 |
| COM45S5 | B58004M4040A020 | 5.2 x 5.2 x 45 | 83 ±10% | 730 | 1400 |
| COM10S5 | Z63000Z2910Z001Z78 | 5.2 x 5.2 x 10 | 16 ±10% | 730 | 1400 |
| COM27S3 | Z63000Z2910Z001Z77 (leaded) | 3.4 x 3.4 x 27 | 47 ±10% | 320 | 600 |
| COM30S7 | Z63000Z2910Z001Z70 | 7.0 x 7.0 x 30 | 55 ±10% | 1320 | 2600 |
| 原型樣品並非量產品 | |||||
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